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UPW-P系列超純水系統(tǒng)一體化設計,通水即用;快插式管路連接,維護方便。
進水水質(zhì) | 純水(電導率<20 μs/cm) |
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進水溫度 | 5-40℃ |
進水壓力 | - |
出水水質(zhì) | 超純水 |
電阻率 25℃ | 18.2 MΩ |
電導率 25℃ | 0.055 μs/cm |
流速 | 1.5-2 L/min |
TOC | <10 ppb |
顆粒物(≥0.22 μm) | <1 pc/ml |
細菌 | <1 cfu/ml |